°ëµ¼ÌåÖÊÁÏÊǰ뵼Ì岯²ú³É³¤µÄ»ù´¡£¬Ëü½»ÈÚÁ˽ñÊÀºÆ·±Ñ§¿ÆµÄ½ø²½Ç°±²½á¹û£¬ÓÚ°ëµ¼ÌåϵÌåÀýÔì¼¼Äܲ»Í£½ø¼¶¼°²Æ²úµÄÁ¬ÐøÁ¢Òì³É³¤ÖÐÊÎÑÝ×ÅÖ÷Òª½ÅÉ«¡£°ëµ¼Ìå¼¼ÄÜÿһ½ø²½Ò»²½¶¼¶ÔÓÚÖÊÁÏÌá³öеÄÒªÇ󣬶øÖÊÁϼ¼ÄܵÄÿһһ´Î³É³¤Ò²¶¼Îª°ëµ¼Ìåв¼¾Ö¡¢ÐÂÆ÷¼þµÄ¿ª·¢ÌṩÁËеÄ˼Ð÷¡£2019Ä꣬º£ÄÚ°ëµ¼ÌåÖÊÁÏÓÚ¸÷·½ÅäºÏŬÁ¦Ï£¬²¿ÃÅÖи߶˷¶³ëÈ¡»¼ÉÏ¿Éϲ³åÆÆ£¬¹ú²ú»¯½øÒ»²½½úÉý¡£ ÐÐÒµ×ÜÌåÓ°ÏìÏ Êг¡·¶Î§Ð¡·ùÏ»¬ ÊÜÐÐÒµ×ÜÌå²»¾°ÆøÓ°Ï죬2019Ä꣬ȫÊÀ½ç°ëµ¼ÌåÖÊÁÏÊг¡ÓªÊÕÏ»¬ÏÔÖø£¬µ«½µÂä·ù¶ÈµÍÔÚ×ÜÌå°ëµ¼Ì岯²ú¡£¾ÝÖйúµç×ÓÖÊÁÏÐÐҵлáͳ¼Æ£¬2019ÄêÈ«ÊÀ½ç°ëµ¼ÌåÖÊÁÏ×ÜÌåÊг¡ÓªÊÕ483.6ÒÚÃÀÔª£¨Ô¼ºÏÈËÆ½Ò×½ü±Ò3430.7ÒÚÔª£©£¬Í¬±È2018ÄêµÄ519.4ÒÚÃÀÔª½µÂä6.89%¡£ ´ÓÖÊÁϵÄÇøÓòÊг¡ÂþÑÜÀ´¿´£¬Ì¨Í嵨ÓòÊǰ뵼ÌåÖÊÁÏ×îÄêÒ¹ÇøÓòÊг¡£¬2019ÄêÊг¡·¶Î§´ï114.69ÒÚÃÀÔª£»ÖйúÄêҹ½Êг¡·¶Î§81.90ÒÚÃÀÔª£¨Ô¼ºÏÈËÆ½Ò×½ü±Ò581.5ÒÚÔª£©£»º«¹úÊг¡·¶Î§76.12ÒÚÃÀÔª¡£ ´Ó¾§Ô²ÖÆÔìÖÊÁÏÓë·â×°ÖÊÁÏÀ´¿´£¬2019ÄêÈ«ÊÀ½ç°ëµ¼Ìå¾§Ô²ÖÆÔìÖÊÁÏÊг¡·¶Î§293.19ÒÚÃÀÔª£¬Í¬±È2018ÄêµÄ321.56ÒÚÃÀÔª½µÂä8.82%£»2019ÄêÈ«ÊÀ½ç°ëµ¼Ìå¾§Ô²·â×°ÖÊÁÏÊг¡·¶Î§190.41ÒÚÃÀÔª£¬Í¬±È2018ÄêµÄ197.43ÒÚÃÀÔª½µÂä3.56%¡£ 2019Ä꣬Öйú°ëµ¼ÌåÖÊÁÏÊг¡·¶Î§81.90ÒÚÃÀÔª£¬Í¬±È2018ÄêµÄ84.92ÒÚÃÀÔª½µÂä3.56%£¬´ËÖУ¬¾§Ô²ÖÆÔìÖÊÁÏÊг¡·¶Î§27.62ÒÚÃÀÔª£¬Í¬±È2018ÄêµÄ28.17ÒÚÃÀÔª½µÂä1.95%£»·â×°ÖÊÁÏÊг¡·¶Î§54.28ÒÚÃÀÔª£¬Í¬±È2018ÄêµÄ56.75ÒÚÃÀÔª½µÂä4.35%¡£ 2019Äê7ÔÂ22ÈÕ£¬¿Æ´´°åÊ×Åú¹«Ë¾ÉÏÊС£°²¼¯Î¢µç×Ó×÷Ϊº£ÄÚCMPÅ×¹âÒºÁúÍ·£¬³ÉΪÊ×ÅúµÇ°¶¿Æ´´°åµÄ25¼ÒÆóÒµÖ®Ò»£¬¾ÃÈÕвġ¢»ªÌØÆøÌå¡¢Éñ¹¤¹É·ÖµÈ½ôËæÆäºó£¬Àֳɵǰ¶¿Æ´´°å£¬Óë´Ëͬʱ£¬Õý·«¿Æ¼¼¡¢¸ñÁÖ´ïµÈ°ëµ¼ÌåÖÊÁÏÆóÒµÓڵǰ¶±¾Ç®Êг¡µÄ½ø³ÌÖнøÕ¹Ë³Ë죬ÓÐÍûÓÚеÄÒ»ÄêÓÀ´Àï³Ì±®£¬ÍØ¿íÁ˸÷ÆóÒµµÄÈÚ×ÊÇþµÀ£¬Ò²ÎªÐÐÒµ×ÜÌå³É³¤×¢Èëеı£ÕÏ¡£ ϸ·Ö·¶³ë³É³¤·×Æç ²¿ÃÅÖи߶˷¶³ëÈ¡»¼ÉÏ¿Éϲ³åÆÆ ×ۺϸ÷·¶³ëÀ´¿´£¬²¿ÃÅ·¶³ëÒѾʵÏÖ×Ô²ú×ÔÏú£¬°Ð²Ä¡¢µç×ÓÌØÆø¡¢CMPÅ×¹âÖÊÁϵÈϸ·Ö²úÎïÒѾ¾È¡»¼ÉϽÏÄêÒ¹³åÆÆ£¬²¿ÃŲúÎï¼¼Äܳ߶ȵ½´ï¹ú¼ÊÒ»Á÷³Ì¶È£¬±¾±¾µØ»õÏßÒѾ»ù±¾ÊµÏÖÖжàÁ¿Á¿¹©»õ¡£2019ÄêÎÒ¹ú°ëµ¼ÌåÖÊÁϳö²úÆóÒµÓÃÔÚº£ÄÚ°ëµ¼Ìå¾§Ô²¼Ó¹¤·¶³ëµÄ·¢Âô¶î´ï138ÒÚÔª£¬Í¬±ÈÔö¼Ó4.4%¡£×ÜÌå¹ú²ú»¯ÂÊÌá¸ßµ½23.8%£¬³äʵÏÔʾÁË×î½ü¼¸ÄêÀ´ÆóÒµ×ÛºÏʵÁ¦µÄ½úÉý¡£ ¹èƬ·½Ã棬2019Ä꺣ÄÚÊг¡·¶Î§8.12ÒÚÃÀÔª£¬Í¬±ÈÔö¼Ó1.63%¡£×÷Ϊ°ëµ¼ÌåÖÊÁÏÖгɱ¾Õ¼±È×î¸ßµÄÖÊÁÏ£¬º£ÄÚ12/8Ó¢´ç¹èƬÆóÒµÒѾ¿çÔ½16¼Ò£¬ÄâÓÚ½¨²úÏßµü³ö£¬2019Äê¸÷ÖØÒª²úÏßÎȲ½Íƽø¡£áéÖݽðÈðãüÀÖ³ÉÀÖÆ³öÓµÓг¹µ××ÔÁ¢³£Ê¶²úȨµÄÁ¿²úÐͼ¯³Éµç·ÓÃ12Ó¢´ç¹èµ¥¾§°ô£»Öл·ÁìÏÈ12Ó¢´ç¹èƬ³§·¿°²×°Á˵ÚÒ»Ì××°±¸£»ÐìÖÝöξ§°ëµ¼Ìå12Ó¢´çÄêÒ¹¹èƬ³¤¾§²úÏßÊÔ²úÀֳɣ¬²¢Â½ÐøÏòº£ÄÚ¼°µÂ¹úµÈ¶à¼Ò¿Í»§·¢ËÍʵÑéÑùƬ£»Òµ½ç±é¼°´æ¾ìµÄÉϺ£Ð•N28nmÂß¼¡¢3D-NAND´æ´¢ÕýƬ¾Óɹý³ÌÁ˳¤½´æ´¢µÄÈÏÖ¤£»ÓÐÑпƼ¼¼¯ÍÅÓëµÂÖÝÊе±¾Ö¡¢ÈÕ±¾RST¹«Ë¾µÈÅäºÏǩԼ£¬ÉèÖÃ×°±¸°ÚÉèÄê²ú360ÍòƬµÄ12Ó¢´ç¹èƬ²Æ²ú»¯ÏîÄ¿¡£Ö»¹Ü¸÷ÆóҵС¶ø·ÖÀ룬µ«ÄêÒ¹¹èÆ¬ÕæÕýʵÏÖ¹ú²ú»¯Ô¶¾°¿ÉÆÚ¡£ ¹âÑÚĤ·½Ã棬ÓëÍúÊ¢µÄÐèÇóÐγɷ´²îµÄÊǺ£Äڸ߶ËÑÚÄ£±£ÕÏÄÜÁ¦²»×㣬ÄêÒ¹Á¿¶¨µ¥Á÷Ïòº£Íâ¡£½ñ³¯£¬°ëµ¼ÌåÓùâÑÚĤ¹ú²ú»¯Âʲ»×ã1%¡£ÄÚ×ÊÆóÒµÖÐÕæÕý´Óʰ뵼ÌåÓùâÑÚÄ£³ö²úµÄ½öÓÐûÓÐÎýÖÐ΢£¬Ñо¿»ú¹¹ÓÐÖпÆÔºÎ¢µç×ÓËùºÍÖйúµç¿Æ13Ëù¡¢24Ëù¡¢47Ëù¼°55ËùµÈ£¬ÒÑÍùÒ»ÄêÀÐÐҵȡ»¼Éϵı¾É«ÐÔ³åÆÆ½ÏÉÙ¡£ ¹â¿Ì½º·½Ã棬½ñ³¯º£ÄÚ¼¯³Éµç·ÓÃiÏß¹â¿Ì½º¹ú²ú»¯ÂÊ10%°Ú²¼£¬¼¯³Éµç·ÓÃKrF¹â¿Ì½º¹ú²ú»¯Âʲ»×ã1%£¬ArF¸Éʽ¹â¿Ì½º¡¢ArFi¹â¿Ì½ºÈ«ÊýÒÀ¿¿Èë¿Ú¡£2019Ä꣬ÄÏÄêÒ¹¹âµçÉèÁ¢¹â¿Ì½ºÊÂÒµ²¿£¬²¢½¨Á¢ÁËÈ«×Ê×Ó¹«Ë¾ Äþ²¨ÄÏÄêÒ¹YABOѼ²±¹ÙÍø¹âµçÖÊÁÏÓÐÏÞ¹«Ë¾ £¬È«Á¦Íƽø ArF¹â¿Ì½º¿ª·¢¼°²Æ²ú»¯ÏîÄ¿ ÂäµØÊµÐУ»Í¬Ê±ÓëÄþ²¨¾¼Ã¼¼ÄÜ¿ª·¢ÇøÖÎÀíίԱ»áÇ©¶©ÁË¡¶Í¶×ʺÍ̸Êé¡·£¬ÄâͶ×Ê¿ª·¢¸ß¶Ë¼¯³ÉµçÂ·ÖÆÔìÓø÷Àà½ø²½Ç°±²¹â¿Ì½ºÖÊÁÏÒÔºÍÅäÌ×ÔÖÊÁϼ°µ×²¿¿¹·´Éä²ãµÈ¸ß´¿ÅäÌ×ÖÊÁÏ£¬Ðγ¹æÄ£»¯³ö²úÄÜÁ¦£¬³ÉÁ¢ÅäÌ×Í걸µÄ¹ú²ú¹â¿Ì½º²Æ²úÁ´¡£ÉϺ£ÐÂÑô248nm¹â¿Ì½ºÅäÌ׵Ĺâ¿Ì»úÒѾÍê³É³§ÄÚ°²×°×îÏȵ÷ÊÔ£¬193nm¹â¿Ì½ºÅäÌ׵Ĺâ¿Ì»úÒ²ÒѾµ½»õ¡£µßÄ©½ü3ÄêµÄÑз¢£¬Òªº¦¼¼ÄÜÒѾÓÐÅÓ´ó³åÆÆ£¬ÒѾ´ÓÊÔÑéÊÒÑз¢×ªÏò²Æ²úÑз¢¡£ ʪ»¯Ñ§Æ··½Ã棬½ñ³¯°ëµ¼Ìå·¶³ë×ÜÌå¹ú²ú»¯ÂÊ23%°Ú²¼¡£2019Ä꣬ÐË·¢¼¯ÍſعÉ×Ó¹«Ë¾ºþ±±Ð˸£µç×ÓÖÊÁÏÓÐÏÞ¹«Ë¾¼¼ÄÜÁ¢ÒìÈ¡»¼ÉÏÅÓ´ó³åÆÆ£¬µç×Ó¼¶Á×Ëá˳Ëì¾Óɹý³ÌÁËÖÐо¹ú¼Ê12Ó¢´ç28nm½ø²½Ç°±²ÖƳ̹¤ÒÕµÄÑéÖ¤²âÊÔ£¬¿ªÆôÁ˶ÔÓÚÖÐо¹ú¼Ê½ø²½Ç°±²ÖƳÌFabÕæ¸öÖÜÈ«¹©¸ø¡£´ËÍ⣬³¤½´æ´¢¡¢ÏÃÃÅÁªÐ¾µÈ½ø²½Ç°±²12Ó¢´çFabÒ²¿ªÆôÁËÑéÖ¤²âÊÔ¡£¶à·ú¶à׽סÈÕº«ÉÌҵսʱ»ú£¬µç×Ó¼¶Çâ·úËá²»±äÅúÁ¿³ö¿Úº«¹ú¸ß¶Ë°ëµ¼ÌåϵÌåÀýÔìÆóÒµ£¬½øÈ뺫¹úÁ½Ì©°ëµ¼Ì幫˾µÄ¹©¸øÁ´ÖУ¬±»ÖÕ¼«ÔËÓÃÓÚ3D-NAND¼°DRAMµÄ¹¤ÒÕÖÆ³ÌÖУ¬Ê¹µç×Ó¼¶Çâ·úËá²úÎï´ò½¨¹úÃÅ×ßÏòÊÀ½ç¡£ µç×ÓÌØÆø·½Ã棬½ñ³¯£¬ÎÒ¹ú°ëµ¼ÌåÓõç×ÓÌØÆøµÄ×ÜÌå¹ú²ú»¯ÂÊԼΪ30%¡£2019Ä꣬»ªÌØÆøÌ弤¹â×¼·Ý×Ó»ìÏýÆøº£ÄÚÄêÒ¹·¶Î§ÆðÁ¿ÔËÓã¬Í¬Ê±½ø¾üº£ÍâÊг¡£»½ðºêÆøÌåTEOSÑз¢È·¶¨ÖØµã½øÕ¹£¬Ðн«Í¶·ÅÊг¡£»ÂÌÁâ¸ß´¿µç×Ó¼¶ËÄ·ú»¯¹èÖÊÁ¿ÎȲ½½úÉý£¬º£ÄÚÊг¡·Ý¶îÂýÂýÌá¸ß£»²©´¿¹É·ÖÑõÁò»¯Ì¼Ñз¢Àֳɣ»ÄÏÄêÒ¹¹âµçÓëÑſ˿Ƽ¼¼ÓÄêÒ¹ÁËÏÈÇýÌåÑз¢Á¦¶È¡£´ËÍ⣬Öд¬ÆßÒ»°ËËùÒ²¼ÓÄêÒ¹ÁËк¬ÎÙÖÆ¼ÁµÄÑÐÖÆ¡£ CMPÅ×¹âÖÊÁÏ·½Ã棬°²¼¯Î¢µç×ӵĺóµÀCu/BarrierÅ×¹âÒº¼¼Ä̶ܳÈÓ뺣ÄÚÁìÏȼ¯³Éµç·³ö²úÉÌͬ²½£¬TSVÅ×¹âÒºÓÚ¹ú¼Ê¼°º£ÄÚ¾ùÓÚÁìÏȳ̶ȣ¬Õ⼸ÀàÅ×¹âÒº2019ÄêÓÚ14nm½ÚµãÉÏʵÏÖС·¶Î§Á¿²ú¡£¶¦Áú¹É·Ö²»½öÍêÃÀÁË×ÔÉíµÄCMPÅ×¹âµæÐͺţ¬´Ó³ÉÊìÖÆ³Ìµ½½ø²½Ç°±²ÖƳÌÍêÓñ³ÉÁýÕÖ£¬²¢ÇÒ½øÈëÁ˳¤½´æ´¢¹©¸øÁ´£¬ÄêÒ¹²¿ÃŲúÎï¾ùÓÚ¾§Ô²³§¾ÙÐÐÑéÖ¤¼°²âÊÔ¡£ °Ð²Ä·½Ã棬½·áµç×ÓÒѾÀֳɳ寯°ëµ¼Ìå7nm¼¼ÄܽڵãÓÃAl¡¢Ti¡¢Ta¡¢CuϵÁавĽ¹µã¼¼Äܲ¢ÊµÏÖÁ¿²úÔËÓã¬5nm¼¼ÄܽڵãµÄÑз¢ÊÂÇéÎȲ½¾ÙÐÐÖС£ÓÐÑÐÒÚ½ðÁ¬ÐøÍƽøÊµÏÖÄÉÃ×Âß¼Æ÷¼þ¼°´æ´¢Æ÷¼þÖÆ±¸Óùó½ðÊôºÍÆäºÏ½ðÏà¸É°Ð²ÄµÄ¿ª·¢ÓëÀûÓᣠ½ø²½Ç°±²·â×°ÖÊÁÏ·½Ã棬¸ß¶Ë³ÐÔØÀàÖÊÁÏÊ´¿ÌÒýÏß¿ò¼ÜÓë·â×°»ù°å¡¢Â·ÏßÅþÁ¬ÀàÖÊÁϼüºÏË¿Ó뺸ÁÏ¡¢ËÜ·âÖÊÁÏ»·ÑõËÜ·âÁÏÓëµ×²¿Ìî³äÁϵÈÈԸ߶ÈÒÀ¿¿Èë¿Ú£¬2019Ä꺣ÄÚÆóÒµÖØÒªÓÚÖеͶ˷¶³ëÓÐËù³åÆÆ£¬¸ß¶Ë·¶³ë¸öÌ寷ÖÖʵÏÖ¹¥¹Ø¡£ ²»È·¶¨ÒòËØÔö³¤ °ëµ¼ÌåÖÊÁÏÒµÈÔóÆ¶¨Ç°ÐÐ ½ñ³¯£¬º£ÄÚ°ëµ¼ÌåÖÊÁÏÕûÌåÉÏÐγÉΪÁËÒÔÁúÍ·ÆóÒµÎªÔØÌ壬ƽ̨¹²Í¬ÍƽøÑéÖ¤µÄÄÜÁ¦£¬¾ßÓÐÁ˱ØÈ»µÄ²Æ²ú»ù´¡¡¢¼¼ÄÜ»ýµí£¬ÒÔºÍÈ˲ÄÖü±¸£¬²¿ÃÅϸ·ÖÖÊÁÏ·¶³ë½ô×·¹ú¼Ê³Ì¶È¡£¿ÉÊÇ£¬½ø²½Ç°±²¼¼ÄܽڵãÖÊÁÏÊг¡×ÜÌåÈÔ±»ÍâÑó¢¶Ï£¬¹ú²úÖÊÁÏ³åÆÆ½ÏÉÙ£¬Òªº¦»·½Ú½¹µãÖÊÁÏ¿Õȱ£¬Ó°ÏìÁËÕû¸ö²Æ²ú°²È«¡£ °ëµ¼Ì岯²ú¼Ó¿ìÏòÖйúÄêÒ¹Â½×ªÒÆ£¬ÖйúÕý³ÉÎªÖØÒª³Ð½ÓµØ£¬2020Ä꣬ҵ½ç±é¼°ÈÏΪ5G»áʵÏÖÄêÒ¹·¶Î§ÉÌÓã¬ÈÈÃż¼ÄÜÓëÔËÓñ޲ßÏ£¬º£ÄÚ°ëµ¼ÌåÖÊÁÏÐèÇóÓÐÍû½øÒ»²½Ôö¼Ó¡£ÄêÒ¹»ù½ð¶þÆÚÒѾÍê³Éļ×Ê£¬¹À¼Æ3ÔÂβ¿É×îÏȱ¾É«Í¶×Ê£¬ÖØÒªçÔÈÆ¹ú¶ÈÕ½ÂÔ¼°ÐÂÐËÐÐÒµ¾ÙÐУ¬ºÃ±ÈÖÇÄÜÆû³µ¡¢ÖÇÄܵçÍø¡¢È˹¤ÖÇÄÜ¡¢ÎïÁªÍø¡¢5GµÈ£¬¹À¼Æ½«¼ÓÄêÒ¹¶ÔÓÚ¹ú²ú°ëµ¼ÌåÖÊÁϵÄͶÈëÁ¦¶È£¬ÐÂÒ»Âֵı¾Ç®²ÎÓ룬½«ÖúÁ¦°ëµ¼ÌåÖÊÁϹú²úÌæ»»½ø¶È¡£ ÐÂÄêÒÁʼ£¬ÊÀ½ç¾¼ÃÁ¬ÐøÏÂÐУ¬ÕûÄê¾¼ÃÆ£ÈõËÆ³É¶¨¾Ö£¬Ð¹ڷÎÑ×ÒßÇ鏸ÐÐÒµ³É³¤´øÀ´ÁË´ò»÷£¬ÖÐÃÀÉÌÒµÕ½ÈÔδƽϢ£¬2020ÄêÔö³¤ÁËÖî¶à²»È·¶¨ÒòËØ¡£µ«ÓÚÈ·¶¨µÄ³É³¤·½ÕëÏ£¬º£ÄÚ°ëµ¼ÌåÖÊÁÏÒµÊÆ±Øóƶ¨Ç°ÐС£